MEMS

作者:admin 更新时间:2023-11-15 点击数:

材料3D实时动态显微镜 


Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time. 


 MEMS(图1)


仪器简介 

瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 DHMDigital Holographic Microscopy)主要应用是在MEMS研发中用于测量工作,以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比,在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm,水平方向为200nm300nm(取决于物镜)。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm,可以15/秒的速度进行测量。因此,1cm见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时,同等范围的观察则需要几个小时~10小时。此外产品最大可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快,因此不需减震台,可用来检测流水线上的产品。 


照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机,作为数字数据保存下来,由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。 


主要特点:           


            ·非接触式3D成像 

            ·可进行相位测量

            ·自动相干补偿

            ·高分辨、实时测量 

技术规格   

系统

·测量技术:         单波长透射式数字全息显微镜

·成像类型:         强度及定量相差 (DHM模式)

·光 源:             单波长激光

·样品台:           手动或自动XYZ平台行程200mm××100mm×15mm

·相 机:            1392×1040像素, 8bits

·有效物镜:       标准显微物镜长工作距离物镜油镜或水镜 



性能

·纵向分辨率:     10nm

·垂直测量范围:  可达340nm (取决于样品)

·横向分辨率:     300nm (1.4NA)

·视场范围:        4.4mm

·工作距离:        0.3~18mm

·数字聚焦范围:  达到50倍场深

·抓图时间:         小于1us

·空间采样:         1024×1024像素

·采样速率:         15fps (1024×1024像素)

·单波长重建速率:15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)

·样品照明:         小于1uW/cm2

·最大样品尺寸:   200mm×200mm 



电源要求

·输入电压:        85-260VAC, 50/60Hz

·功率:              480W 



重量&尺寸

·显微镜部分:     500×500×500mm&34.5kg 


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