电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪

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电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪(图1)

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电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪(图2)

CVP21的净室和模块化的系统设计结构使得本系统可以高效率,准确的测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布.选用合适的电解液与材料接触,腐蚀,从而得到材料的掺杂浓度分布。电容值电压扫描和腐蚀过程由软件全自动控制

电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪(图3)

CVP21的系统特点• 坚固可靠的模块化系统结构 .光学,电子和化学部分相对独立.• 精确的测量电路模块• 强力的控制软件,系统操作,使用简便• 完善的售后服务体系

电化学ECV 掺杂浓度检测 电化学CV分布仪(图4)

ECV/结深测试仪/扩散浓度分选仪德国WEP公司的ECV(型号为CVP21)在太阳能光伏行业的应用非常普及,市场占有率甚至达95%以上,是光伏行业电池技术研究和发展的必要工具之一,几乎知名的光伏企业都有使用。WEP公司的ECV设备:CVP21(见图)1. ECV又名扩散浓度测试仪,结深测试仪等,即电化学CV法测扩散后的载流子浓度分布(见图);2. 相比其他方法如SRP,SIMS等,ECV具有测量使用方便,价格低的优点;WEP公司的ECV具有独特技术可应用于测试电池片的绒面样片,这也是其被广泛使用的原因之一;4. CVP21所能测量的深度范围是nm---10um;5. 测量的载流子浓度范围在10e12cm-3 6. 测量扩散样片时,样片是保持“Dry in”和“Dry out”,并无需做特别处理;7. 其所用到的化学试剂本地就能买到,价格低且用量很少买一次可以用好几年;8. 从CVP21所测得的数据能带给研发或工艺人员三方面的信息


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